半导体工业常用材料中超痕量污染物分析：

固体：Si;GaAa单晶切片;石英、碳化硅等炉材料;高纯金属电极等。

Agilent ICP-MS可直接分析有机样品：

Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等离子体技术已被用于测定一系列有机样品的ppt级痕量污染元素。

对其中一些样品，其他方法无法获到满意的结果，高功率屏蔽矩冷等离子体技术是仅有分析方法。

强碱性清洗剂--四甲基氢氧化氨(TMAH)等

高基体样品--光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发性极强的清洗剂

二手ICPMS 安捷伦电感耦合等离子体

特性：

1、可快速同时检测周期表上几乎所有元素

2、低检出限(低至ppq级)

3、分析效益/成本比上佳

4、线性动态范围宽-可直接检测从ppq到数百ppm浓度

5、谱线简单、干扰小，准确度和精密度好

6、需要样品量很低(ul至ml)，分析速度很快(1--3分钟/样品)

7、检测模式灵活多样

  二手安捷伦ICPMS 7500 电感耦合等离子体应用领域包括：

环境样品分析，包括自来水、地表水、地下水、海水以及各种土壤、废弃物等的分析；

半导体材料分析；

玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析；

地质学研究；

生物食品及医药临床研究；

核材料分析；

石油化工样品分析；

法医应用与研究；

与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成为ICP-MS技术应用的一个焦点。